金融界7月19日音讯,有投入资金的人在互动渠道向崇德科技发问:据材料显现,气浮轴承为光刻机的核心部件,请问公司正在研制的相关轴承将来是不是可以运用到国产光刻机中?
公司答复表明:公司前期现已进行研制立项,将高速电机关键技能和高精气浮轴承技能集成,在“静压气浮轴承气浮高精高速电机”研制进行了要点投入,现已与欧美相关抢先公司进行协作。正在研制1.5kw-2.4kw用于晶圆切开的划片机主轴体系,4.2kw-11kw 硅片及碳化硅高精气浮主轴体系和无油高速气浮电机,并将逐渐产业化。一起公司也与国内的划片机和晶圆减薄机的要点企业建立了杰出的协作关系。
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